3D光學(xué)非接觸輪廓粗糙度儀利用白光干涉來測量納米級(jí)至微米級(jí)的表面形貌，并且具有業(yè)界大視場下的高垂直分辨率。儀器具備多種倍率物鏡（1.25倍-100倍），可以表征具有不同表面形狀和結(jié)構(gòu)的樣品。而且在任何放大倍數(shù)下，系統(tǒng)的縱向范圍都能夠達(dá)到亞-埃至毫米級(jí)。3D光學(xué)非接觸輪廓粗糙度儀使測量結(jié)果不管在科研還是工業(yè)環(huán)境中都具有超高的可靠性和可重復(fù)性。3D光學(xué)非接觸輪廓粗糙度儀簡潔的操作界面通過對(duì)測量和數(shù)據(jù)獲取過程的簡化大大提高了系統(tǒng)和人力效率；的可視工作流程工具提供了直觀的分析選項(xiàng)。3D光學(xué)非接觸輪廓粗糙度儀可廣泛的應(yīng)用于：機(jī)械，光伏材料，電子材料，航空航天，光學(xué)材料和醫(yī)療器械等領(lǐng)域。
3D光學(xué)非接觸輪廓粗糙度儀的傾斜測量頭為用戶提供了的靈活性，實(shí)現(xiàn)快速測量和觀察。通過在在顯微鏡頭中結(jié)合頭部傾斜功能，光學(xué)輪廓儀這一技術(shù)實(shí)現(xiàn)了將觀察位置保持在焦平面處，為用戶實(shí)際使用時(shí)帶來了很大便利。
準(zhǔn)確追蹤和使用的簡便性對(duì)于在不同表面上快速檢測是至關(guān)重要的，這樣在批量測試時(shí)速度也大大提高。
3D光學(xué)非接觸輪廓粗糙度儀的功能：
1)一體化操作的測量與分析軟件，操作無須進(jìn)行切換界面，預(yù)先設(shè)置好配置參數(shù)再進(jìn)行測量，軟件自動(dòng)統(tǒng)計(jì)測量數(shù)據(jù)并提供數(shù)據(jù)報(bào)表導(dǎo)出功能，即可快速實(shí)現(xiàn)批量測量功能。
2)測量中提供自動(dòng)多區(qū)域測量功能、批量測量、自動(dòng)聚焦、自動(dòng)調(diào)亮度等自動(dòng)化功能。
3)測量中提供拼接測量功能。
4)分析中提供調(diào)整位置、糾正、濾波、提取四大模塊的數(shù)據(jù)處理功能，其中調(diào)整位置包括圖像校平、鏡像等功能；糾正包括空間濾波、修描、尖峰去噪等功能；濾波包括去除外形、標(biāo)準(zhǔn)濾波、過濾頻譜等功能；提取包括提取區(qū)域和提取剖面等功能。